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FT型快速退火爐選型和技術參數(shù)
時間: 2019-03-07 12:58:37
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FT型快速退火爐選型上可供參考的型號有：快速燒結(jié)爐、RTP退火爐、快速升降溫爐、快速爐、RTP快速退火爐，進口快速退火爐，采用大功率紅外線輻射方式，配合腔體內(nèi)鍍金反射層，
FT型快速退火爐選型上可供參考的型號有：快速燒結(jié)爐、RTP退火爐、快速升降溫爐、快速爐、RTP快速退火爐，進口快速退火爐，采用大功率紅外線輻射方式，配合腔體內(nèi)鍍金反射層，使單片硅片快速升溫。降溫時紅外線燈管停止工作，大流量壓縮空氣（或冷卻氮氣）迅速帶走腔體內(nèi)熱量，實現(xiàn)快速降溫。
二、快速退火爐主要技術參數(shù)（下述參數(shù)可根據(jù)需求調(diào)整）
1、外型形式：臺式，單片硅片
2、硅片尺寸：156*156方片，2-8寸硅片
4、額定工作溫度：1000 ℃
5、單點溫度穩(wěn)定性、重復性：±0.5 ℃
6、溫度均勻性：±1℃（900℃以上）
7、升溫速率：0 - 100 ℃/S 可調(diào)
8、降溫速率：0 - 100 ℃/S 可調(diào)
9、恒溫時間：0 - 600 S
10、加熱功率：18根（每根1.5KW）紅外線燈管，總功率27KW
11、鋁合金爐膛：鋁合金水冷鍍金爐膛，導熱性能好，有效提高降溫速率
12、石英爐膛：可拆卸結(jié)構，當爐膛內(nèi)被煙霧污染導致升溫速率降低時，可將石英爐膛拆下清洗
二、快速退火爐主要技術參數(shù)（下述參數(shù)可根據(jù)需求調(diào)整）
1、外型形式：臺式，單片硅片
2、硅片尺寸：156*156方片，2-8寸硅片
4、額定工作溫度：1000 ℃
5、單點溫度穩(wěn)定性、重復性：±0.5 ℃
6、溫度均勻性：±1℃（900℃以上）
7、升溫速率：0 - 100 ℃/S 可調(diào)
8、降溫速率：0 - 100 ℃/S 可調(diào)
9、恒溫時間：0 - 600 S
10、加熱功率：18根（每根1.5KW）紅外線燈管，總功率27KW
11、鋁合金爐膛：鋁合金水冷鍍金爐膛，導熱性能好，有效提高降溫速率
12、石英爐膛：可拆卸結(jié)構，當爐膛內(nèi)被煙霧污染導致升溫速率降低時，可將石英爐膛拆下清洗
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